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SP1102轮廓仪轮廓测量仪精度轮廓测量仪轮廓测量仪轮廓度分析

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X向量程：100mmZ向量程：320mmZ1向量程：15mmX轴精度：±（3+0.02L）μmZ1轴精度：±（2.5+|0.15H|）μm直线度：1μm/50mm尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离

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